2019年12月6日，科技部科技評估中心在北京組織召開國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項“高端全息光柵研發(fā)”項目綜合驗收會，項目順利通過驗收。

驗收會上，專家組聽取了項目負(fù)責(zé)人、長春光機(jī)所齊向東研究員作的項目研制工作總結(jié)報告，觀看了項目視頻，開展了各參研單位研制設(shè)備遠(yuǎn)程視頻連線和開發(fā)的高端光柵器件和光譜儀器的現(xiàn)場檢查，并進(jìn)行了質(zhì)詢討論。會議專家一致同意該項目通過綜合驗收。

圖1　綜合驗收會與會代表合影

圖片來源：長春光機(jī)所

光柵是一種具有納米精密周期性微結(jié)構(gòu)的精密光學(xué)元件，光柵除在各類光譜儀器中擔(dān)當(dāng)“芯片”角色外，還在天文學(xué)、激光器、光通訊、信息存儲、新能源等諸多領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。高端全息光柵是指具有高光譜分辨率、高衍射效率、高刻線密度、低雜散光強(qiáng)度或特殊面形以及體全息光柵等一些特種光柵類型的全息光柵，代表了光柵制造技術(shù)的前沿水平。

在“高端全息光柵研發(fā)”項目立項之初，國外科研機(jī)構(gòu)和公司基本壟斷高端全息光柵市場。隨著我國光譜儀器行業(yè)打造高端光譜儀器產(chǎn)品、拓展國際市場需求的日益強(qiáng)烈，長春光機(jī)所依托該專項支持，開展了以高刻線密度光柵、大口徑高衍射效率光柵為代表的高端全息全息光柵的研發(fā)工作，旨在全面提升我國全息－離子束刻蝕光柵的研制水平，開發(fā)出具有重要戰(zhàn)略意義及代表性且需求迫切的高端全息光柵，替代進(jìn)口的同時滿足我國光譜分析儀器自主創(chuàng)新對新型全息光柵的需求；實現(xiàn)以關(guān)鍵部件開發(fā)為先導(dǎo)、輻射帶動光譜分析儀器行業(yè)技術(shù)進(jìn)步，實現(xiàn)以高端全息光柵自主創(chuàng)新帶動光譜分析儀器自主創(chuàng)新的目標(biāo)，完善光譜分析儀器產(chǎn)業(yè)鏈，增強(qiáng)儀器產(chǎn)業(yè)核心競爭力。

項目組在研發(fā)周期內(nèi)建立并完善了高端全息光柵制造及檢測裝備，全面提高了高端全息光柵的工藝技術(shù)，研制出國際先進(jìn)的11種高端全息光柵，同時，聯(lián)合國內(nèi)優(yōu)勢企業(yè)應(yīng)用新光柵開發(fā)出6種新型光譜儀器。

一是研制出大口徑勻膠機(jī)、大口徑曝光系統(tǒng)、曲面光柵離子束刻蝕機(jī)、大口徑反應(yīng)離子刻蝕機(jī)、衍射波前測試儀、衍射光柵雜散光測試儀，形成了集光柵設(shè)計、制造及檢驗于一體的開發(fā)平臺。

圖片來源：長春光機(jī)所

二是研制出11種高端全息光柵母版，解決了高端全息光柵制造工藝技術(shù)及裝備的共性基礎(chǔ)問題，全面提升了我國光柵制造能力。

圖片來源：長春光機(jī)所

三是在我國光譜分析儀器行業(yè)的六家領(lǐng)軍企業(yè)進(jìn)行應(yīng)用示范及產(chǎn)業(yè)化推廣，自主研發(fā)出低雜散光紫外可見光譜儀、新型火花直讀光譜儀、高速單道掃描電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀、雙光束紫外–可見分光光度計、醫(yī)用成像光譜儀、極紫外–軟X射線雙光柵單色器等六種高端光盤分析儀器。

圖片來源：長春光機(jī)所

通過該項目持續(xù)支持，長春光機(jī)所研制出的高精度、高指標(biāo)、大尺寸的高端全息光柵，不僅代表了中國的超微細(xì)加工技術(shù)達(dá)到了世界水平，更打破了中國民用光譜儀器行業(yè)及國家戰(zhàn)略高技術(shù)領(lǐng)域所需要的高精度光柵受制于人的局面，在促進(jìn)中國光譜儀器行業(yè)擺脫“有器無心”的局面，幫助中國光譜儀器產(chǎn)業(yè)改變低端化現(xiàn)狀，提升拓展國際市場能力方面將發(fā)揮重要支撐作用。