在廣泛的工業(yè)激光材料加工領(lǐng)域,激光表面加工這一術(shù)語通常被用于描述一系列采用連續(xù)波(CW)、功率為數(shù)千瓦的近紅外激光源的加工活動。然而,以上工藝與本文所描述的可被視作為微米和納米級表面應用的技術(shù)完全不同。采用短脈沖皮秒(10-12)和飛秒(10-15)超快激光器的許多工藝已經(jīng)確定,也有許多相關(guān)內(nèi)容的發(fā)表。
這些工藝的主要缺點是:即便屬于這類激光器門類中的低功率系列產(chǎn)品,它們的投資與運行成本仍然很高。由于加工速度通常取決于激光器的平均功率,對于大多數(shù)工業(yè)激光用戶而言,實際表面覆蓋率條件下的激光加工成本可能太高。
最近,成熟的納秒級脈沖光纖激光器的脈寬范圍已擴展到亞納秒級,隨之而來的是以數(shù)量級增加的峰值功率能力。這使開發(fā)出一種采用具成本效益的長皮秒激光源的新型激光表面加工工藝成為了可能。
光纖激光器眾所周知的優(yōu)勢,能確保它們在大多數(shù)應用中成為占主導地位的選擇方案。在這里我們主要介紹的內(nèi)容是為了提高對微米級激光應用的了解,這類激光用于通常被認為是難以采用標準紅外波長進行打標的材料,如銅和玻璃等的表面毛化處理或打標應用。
通過一定方式改變激光打標表面區(qū)域,使之與未打標區(qū)域形成視覺上的對照,激光標記具有重要的應用。我們不僅列出了一些早期結(jié)果,還采用先進的分析手段對金屬和玻璃表面的激光毛化處理工藝進行深入的特性描述和刻畫。
筆式表面輪廓儀也許是測量相關(guān)數(shù)據(jù)最有名、應用最廣泛的技術(shù),因此,選用了該技術(shù)對激光處理進行初步評估。表面形態(tài)學對更普遍的表面特性與形狀進行定性、定量描述,成像技術(shù)在這里更為有用。因而,選用了共聚焦激光掃描顯微鏡的二維和三維圖像。