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紫外激光的聚焦性能好、波長短、光子能量高且具有冷處理等特點,并能激發(fā)特定光化學反應,這些特點使得其在光數(shù)據(jù)存儲、光譜分析、光盤控制、光化學反應、大氣探測、生物、醫(yī)學及科研等領域具有廣泛的應用。
紫外激光在微加工應用具有三個明顯的優(yōu)勢:
1. 短的波長可以加工非常小的零部件,光束衍射效應是限制零部件加工最小尺寸的一個主要原因,可達到的最小聚焦點直徑隨波長呈線性増加;
2. 能量高的光子可直接破壞材料內部分子的化學鍵,這種過程稱為“冷”處理過程,與可見光激光器和紅外激光器利用聚集熱量來焰化加工部位的材料相比其熱影響區(qū)幾乎可忽略不計;
3、在自然界中大部分材料都能吸收紫外光,它的這個特點使得紫外激光能加工很多可見激光和紅外激光不能加工的材料。
上述三個優(yōu)越性使得紫外激光可以加工塑料制品和薄膜橡膠等脆弱物質,也使得其在生物工程、先進制造業(yè)、環(huán)境監(jiān)測、半導體產(chǎn)業(yè)、相干激光檢測等領域都有重要應用。