激光聚焦的另一個(gè)重要參數(shù)是光束的聚焦深度。聚焦深度的截取可按從束腰向兩邊截取至光束直徑增大5%處,聚焦深度h,這個(gè)是可以進(jìn)行估算的。
由此可知,在一定聚焦光斑要求下,紫外激光打標(biāo)機(jī)激光束的聚焦深度與波長(zhǎng)成反比。對(duì)于物鏡后掃描方式,如果采用靜態(tài)聚焦方式,其聚焦面為一個(gè)球弧面,如果其在整個(gè)工作面內(nèi)的離焦誤差控制在聚焦深度范圍之內(nèi),則可采用靜態(tài)聚焦方式,如果離焦誤差偏離聚焦深度范圍太遠(yuǎn),則需采用動(dòng)態(tài)聚焦方式。

如果紫外激光打標(biāo)機(jī)激光束需要傳輸較長(zhǎng)距離,由于激光的束散角的原因,為了得到合適的聚焦光斑以及掃描一定大小的工作面,通常在選擇合適的透鏡焦距的同時(shí),需要將激光束進(jìn)行擴(kuò)束。激光束擴(kuò)束的基本方法有兩種:伽利略法和開普勒法。
紫外激光打標(biāo)機(jī)激光束經(jīng)過(guò)擴(kuò)束后.減少了激光束傳輸過(guò)程中的功率密度,從而減小了激光束通過(guò)時(shí)光學(xué)組件的熱應(yīng)力,有利于保護(hù)光路上的光學(xué)組件。激光束擴(kuò)束后,其束散角被壓縮,減小了激光的衍射,從而能夠獲得較小的策熱光斑?!?/div>
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